CASE STUDY

半導体前工程装置メーカー – FA/自動化領域における制御開発支援

業界・設備
半導体前工程・成膜装置
対応PLC
KEYENCE KV-8000シリーズ
担当範囲
チャンバー・搬送インターロック制御/上位通信I/F開発/稼働データDB格納
成果
装置停止要因の即時可視化により、ダウンタイム分析のリードタイムを短縮

成膜装置(CVD/スパッタ)向けの制御プログラム開発において、真空搬送ロボット・チャンバー制御とのインターロック設計、および装置稼働データの上位システムへのリアルタイム送信を担当。クリーンルーム環境下でのFA機器特有の安全設計・搬送同期制御に関する知見を活かして対応。