成膜装置(CVD/スパッタ)向けの制御プログラム開発において、真空搬送ロボット・チャンバー制御とのインターロック設計、および装置稼働データの上位システムへのリアルタイム送信を担当。クリーンルーム環境下でのFA機器特有の安全設計・搬送同期制御に関する知見を活かして対応。
CASE STUDY
半導体前工程装置メーカー – FA/自動化領域における制御開発支援
- 業界・設備
- 半導体前工程・成膜装置
- 対応PLC
- KEYENCE KV-8000シリーズ
- 担当範囲
- チャンバー・搬送インターロック制御/上位通信I/F開発/稼働データDB格納
- 成果
- 装置停止要因の即時可視化により、ダウンタイム分析のリードタイムを短縮