装置コントローラとファブホスト間のSECS/GEM通信を実装し、装置状態・レシピ・実績データのリアルタイム連携を実現。GEM準拠のステートモデル（Equipment States）設計から、SVID/ECID/ALIDの定義、イベントレポート設計まで一貫して対応
CASE STUDY
半導体製造装置メーカー – SECS/GEM通信によるホスト連携制御
- 業界・設備
- 半導体製造装置メーカー・ホスト通信対応
- 対応PLC
- KEYENCE KV-8000シリーズ ＋ 上位通信ゲートウェイ
- 担当範囲
- SECS-II／GEM通信仕様設計／ステートモデル実装／レシピダウンロード連携／実績データアップロード
- 成果
- ホスト側MESとの自動連携によりオペレーター介在を削減し、装置稼働率の可視化を実現